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當前位置:首頁技術文章普泰克-半導體芯片溫度測試維修保養(yǎng)
探針:每次使用后用無水乙醇擦拭探針針尖,去除氧化層和污染物,避免針尖磨損或接觸不良;定期檢查探針臂張力,防止變形。
樣品臺:清潔表面污漬(用軟布蘸異丙醇),檢查導熱涂層(如鍍金層)是否脫落,脫落需重新鍍膜以保證溫度均勻性。
溫度控制系統(tǒng):每周檢查制冷 / 加熱管路(如液氮管道)是否泄漏,加熱絲是否老化;每月校準溫度傳感器(用標準溫度計對比)。
校準溫度穩(wěn)定性:用精密測溫儀(如 FLUKE 5520A)在關鍵溫度點(如 - 40℃、25℃、125℃)驗證波動是否≤±0.1℃。
真空 / 氣氛系統(tǒng):檢查真空泵油位,更換老化密封圈,確保真空度達標(≤10??Pa),避免低溫下樣品結(jié)霜。
鏡頭維護:用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑擦拭,避免指紋或灰塵影響成像;長期不用時蓋好鏡頭蓋。
傳感器校準:每年送廠校準,確保測溫精度(可通過黑體爐在 - 50~300℃范圍內(nèi)驗證)。
電池與存儲:鋰電池需定期充放電(每月 1 次),避免長期虧電;存儲環(huán)境需干燥(濕度≤60%)、無腐蝕性氣體。
檢查接線端子是否松動或氧化(氧化會導致接觸電阻增大,誤差增加),定期用細砂紙打磨并涂抹導電膏。
發(fā)現(xiàn)熱電偶絲破損、絕緣層老化時及時更換(尤其是高溫下使用的 K 型熱電偶,壽命約 1000 小時)。
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