Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-07-02

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：109

服務(wù)熱線

021-51602552

立即咨詢

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列

氣體制冷機(jī)-PTLQ系列直冷型低溫制冷機(jī)-PTZL系列 chiller高精度冷熱循環(huán)器-PTS系列 chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列精密冷水機(jī)-TLS系列小型高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)-SMART系列高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)-PTHC系列氣體冷凝回收機(jī)組-SCR&LCR系列

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

氣體制冷機(jī)內(nèi)部氣體的選擇與奧秘

半導(dǎo)體制冷裝置：熱電效應(yīng)下的制冷新紀(jì)元

精準(zhǔn)控溫，智造未來｜普泰克溫控系統(tǒng)助力半導(dǎo)體材料高效穩(wěn)定生產(chǎn)

普泰克-高低溫測試探針臺典型應(yīng)用場景

與其他冷卻設(shè)備相比，恒溫恒流恒壓冷水機(jī)更具優(yōu)勢

產(chǎn)品介紹

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

chiller高精度冷熱循環(huán)器-PTS系列_01.jpg